特許
J-GLOBAL ID：200903021556257313

レーザ装置

発明者：
今井 浩文

今井 浩文 について

, 
南田 勝宏

南田 勝宏 について

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坂井 辰彦

坂井 辰彦 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229468
公開番号（公開出願番号）：特開平11-068218
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 発振光軸のずれを自動的に防ぐことができるレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザビーム照射位置が調整可能なように、光共振器12の全反射平面鏡14が保持されたレーザ装置において、前記全反射平面鏡を傾斜可能に保持する全反射鏡保持装置21と、レーザ発振器の出射側でレーザビームLBの形状を維持した状態でレーザビームLBの一部を発振光軸からそらすビームスプリッタ41と、発振光軸からそらされたレーザビームSBを検出するレーザ光検出器51と、検出ビームに基づいて発振光軸位置を求め、発振光軸をあらかじめ設定した許容範囲内に位置させる制御信号を求め、制御信号を前記全反射鏡保持装置21に出力する制御装置61とを備えている。
請求項（抜粋）：
レーザビーム照射位置が調整可能なように、光共振器の全反射鏡が保持されたレーザ装置において、前記全反射鏡を移動または傾斜可能に保持する全反射鏡保持装置と、レーザ発振器の出射側でレーザビームの形状を維持した状態でレーザビームの一部を発振光軸からそらすビームスプリッタと、発振光軸からそらされたレーザビームを検出するレーザ光検出器と、検出ビームに基づいて発振光軸位置を求め、発振光軸をあらかじめ設定した許容範囲内に位置させる制御信号を求め、制御信号を前記全反射鏡保持装置に出力する制御装置とを備えていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/139 ,  H01S 3/121 ,  H01S 3/134
FI (3件)：
H01S 3/139 ,  H01S 3/121 ,  H01S 3/134
引用特許：
出願人引用 (21件)
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審査官引用 (5件)
  • 波長安定化狭帯域エキシマレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040219   出願人：日本電気株式会社
  • 特開平2-110985
  • ガス・レーザ管装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172268   出願人：株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社
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