特許
J-GLOBAL ID:200903021686794744
蛍光X線分析装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山村 喜信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-317633
公開番号(公開出願番号):特開2004-150990
出願日: 2002年10月31日
公開日(公表日): 2004年05月27日
要約:
【課題】1度の分析操作で、測定試料中の原子番号が離れた複数の微量元素を分析可能とする蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】1次フィルタ7は、原子番号が互いに異なる第1元素および第2元素をフィルタ成分として含み、第1元素は1次X線3における第1エネルギ帯域31を主に吸収する。一方、第2元素は1次X線の連続X線における第1エネルギ帯域31よりもエネルギの大きい帯域で、かつ、第1エネルギ帯域31に隣接しない第2エネルギ帯域32を主に吸収する。吸収後の1次X線3には、第2エネルギ帯域32の両側の第3および第4エネルギ帯域33、34が第1および第2励起成分として含まれる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
X線源から1次フィルタを介して、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料からの蛍光X線を検出器で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、
前記1次フィルタは、原子番号が互いに異なる第1元素および第2元素をフィルタ成分として含み、
前記第1元素は前記1次X線における第1エネルギ帯域を主に吸収し、
前記第2元素は前記1次X線の連続X線における前記第1エネルギ帯域よりもエネルギの大きい帯域で、かつ、前記第1エネルギ帯域に隣接しない第2エネルギ帯域を主に吸収し、
前記吸収後の1次X線には、前記第2エネルギ帯域の両側の第3および第4エネルギ帯域が第1および第2励起成分として含まれ、
前記第1および/または第2励起成分が連続X線の一部を含むことを特徴とする蛍光X線分析装置。
IPC (3件):
G01N23/223
, G21K3/00
, G21K5/02
FI (5件):
G01N23/223
, G21K3/00 M
, G21K3/00 S
, G21K3/00 Z
, G21K5/02 X
Fターム (21件):
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001EA03
, 2G001EA06
, 2G001EA20
, 2G001FA02
, 2G001FA06
, 2G001FA08
, 2G001GA04
, 2G001GA13
, 2G001JA01
, 2G001JA05
, 2G001KA01
, 2G001NA10
, 2G001NA12
, 2G001NA16
, 2G001PA02
引用特許:
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