特許
J-GLOBAL ID：200903021808431532

フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法

発明者：
西山 智弘

西山 智弘 について


出願人/特許権者：
西山ステンレスケミカル株式会社

西山ステンレスケミカル株式会社 について


代理人 (1件)： 野中 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-379275
公開番号（公開出願番号）：特開2004-182586
出願日： 2003年11月10日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】 ウェットエッチングを行う前に、耐薬品性や密着性の大きい被覆層をガラス基板表面に形成することにより高精度なパターニングが施されたフラットパネル(FPD)用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板1の表面の一部に被覆層2を形成し、フッ酸を含有するエッチング液で処理することにより、被覆層が形成された部分以外のガラスの表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたFPD用ガラス基板を製造する。上記被覆層2としては、エポキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂から選ばれる樹脂を被覆材原料としてフィルム転写により形成されたものが第一の好ましい具体例として挙げられる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガラス基板の表面の一部に被覆層を形成し、フッ酸を含有するエッチング液で処理することにより、被覆層が形成された部分以外のガラス基板の表面をエッチングし、その後被覆層を除去することにより、基板表面が所定の形状にパターニングされたフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を製造する方法であって、 前記被覆層が、エポキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂から選ばれる樹脂を被覆材原料としてフィルム転写により形成されたものであるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
IPC (3件)：
C03C15/00 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02
FI (3件)：
C03C15/00 D ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B
Fターム (12件)：
4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB05 ,  4G059AB06 ,  4G059AB09 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB16 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA14 ,  5C040MA23
引用特許：
審査官引用 (7件)
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