特許
J-GLOBAL ID:200903021829332739
有機TFT素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
樺山 亨
, 本多 章悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-233184
公開番号(公開出願番号):特開2004-072049
出願日: 2002年08月09日
公開日(公表日): 2004年03月04日
要約:
【課題】有機TFT素子の信頼性を向上させ、安価に、大面積作製を達成し、次世代表示素子への応用を可能とさせることができる構造の有機TFT素子を提供する。【解決手段】本発明の有機TFT素子は、第1の基材100上に第1の有機絶縁膜120を形成し、その上に有機半導体材料からなるTFT(薄膜トランジスタ)130を形成後、第2の有機絶縁膜110を積層した構造からなることを特徴とし、第1の有機絶縁膜120と第2の有機絶縁膜110を用いて有機TFT130を挟み込む構造とし、有機TFTを不活性化させることにより、経時変化の少ない有機TFT素子の提供が可能になる。また、第1の有機絶縁膜120と第2の有機絶縁膜110を同質の材料から構成することにより、製造工程が簡略化され、素子の製造コストの低減をもたらすことができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1の基材上に形成される有機TFT素子において、
第1の基材上に第1の有機絶縁膜を形成し、その上に有機半導体材料からなるTFT(薄膜トランジスタ)を形成後、第2の有機絶縁膜を積層した構造からなることを特徴とする有機TFT素子。
IPC (4件):
H01L29/786
, H01L21/312
, H01L27/12
, H01L51/00
FI (7件):
H01L29/78 619A
, H01L21/312 A
, H01L27/12 B
, H01L29/78 617T
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 626C
, H01L29/28
Fターム (23件):
5F058AA10
, 5F058AC10
, 5F058AF01
, 5F058AH04
, 5F110AA14
, 5F110AA30
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD12
, 5F110EE04
, 5F110EE44
, 5F110FF01
, 5F110FF21
, 5F110FF29
, 5F110GG05
, 5F110GG25
, 5F110GG41
, 5F110NN01
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110QQ16
, 5F110QQ30
引用特許:
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