特許
J-GLOBAL ID：200903021843926420
感放射線性樹脂組成物、スペーサーの形成方法およびスペーサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大島 正孝
, 勝又 秀夫
, 白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-273678
公開番号（公開出願番号）：特開2007-128062
出願日： 2006年10月05日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：
【課題】高い感放射線感度を有し、解像度が十分に高く、基板もしくは下地または上層との密着性に優れ、かつ膜形成工程の焼成時における昇華物の発生が抑制された、スペーサーを形成するために好適に用いられる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)特定のチオカルボニルチオ化合物の存在下におけるリビングラジカル重合によって重合され、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)が1.7以下であり、且つカルボキシル基を有する重合体、(B)重合性不飽和化合物および(C)感放射線性重合開始剤を含有し、スペーサーの形成に用いられることを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)
IPC (3件)：
G02F 1/133
, G03F 7/033
, C08F 4/40
G02F1/1339 500
, G03F7/033
, C08F4/40
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA14
, 2H025AB13
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025CC06
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H089LA07
, 2H089LA09
, 2H089LA10
, 2H089MA03X
, 2H089MA05X
, 2H089NA05
, 2H089NA12
, 2H089NA14
, 2H089NA37
, 2H089PA06
, 2H089PA07
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 2H089TA02
, 4J015CA00
