特許
J-GLOBAL ID：200903022122238856

再溶融石英ガラスルツボとその製造方法

発明者：
福井 正徳

福井 正徳 について

, 
広嶋 健一

広嶋 健一 について

, 
佐藤 貴宏

佐藤 貴宏 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアルクォーツ株式会社

三菱マテリアルクォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160737
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342030
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】【課題】 ルツボ内表面層に微細気泡や異物を実質的に含まない高品質の石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。【解決手段】 石英ガラスルツボの内周面を800°C〜1500°Cに加熱し、加熱領域に輝点が生じたものについて、ルツボ外表面を1500°C未満に維持する一方、酸水素炎またはプラズマ炎によってルツボ内表面を1850°C〜2400°Cに局部加熱し、輝点発生部分を再溶融させて輝点を除去する。
請求項（抜粋）：
ルツボ内周面を赤熱温度以上および軟化温度未満に加熱すると加熱領域に輝点が生じる石英ガラスルツボについて、ルツボ外表面を軟化温度より低く維持する一方、酸水素炎またはプラズマ炎によってルツボ内表面層を軟化温度以上に局部加熱し、輝点発生部分を再溶融させて輝点を除去したことを特徴とする再溶融石英ガラスルツボ。
IPC (2件)：
C03B 20/00 ,  H01L 21/208
FI (2件)：
C03B 20/00 H ,  H01L 21/208 P
Fターム (7件)：
4G014AH23 ,  5F053AA12 ,  5F053BB04 ,  5F053BB13 ,  5F053FF04 ,  5F053RR04 ,  5F053RR07
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (10件)
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