特許
J-GLOBAL ID：200903022433707817
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-367619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187329
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度及び解像度で、密着性に優れた現像欠陥の少ないレジストパターンを与え、更に充分な耐ドライエッチング性を示すポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の環構造を有する繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる基を有する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤、並びに(C)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる基を有する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する光酸発生剤、並びに(C)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】上記一般式(I)中;R1〜R6は、同一又は異なって、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子を表す。R7は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。環構造と酸素原子はR1〜R6のいずれかの位置で単結合で結合する。また、R1〜R6のうちの2つ以上が結合して環を形成してもよい。mは、0〜2の整数である。nは、0〜2の整数である。
IPC (3件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 504
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 504
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB41
, 2H025CB52
, 2H025CC04
, 2H025CC20
, 2H025FA17
