特許
J-GLOBAL ID：200903022618629928
走査型非線形誘電率顕微鏡を応用した超高感度変位計測方式
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山田 益男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119944
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323432
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、探針と試料表面に空隙を設けた場合、微小な空隙の変化で非線形誘電率信号が大きく変化することが理論解析により予測されることに基き、この現象を利用して超高感度な垂直方向距離センシングに用いる非線形誘電率顕微鏡を開発し、提供することにある。【解決手段】 本発明の走査型非線形誘電率顕微鏡による超高感度距離計測方式は、背面に電極を配置した誘電体表面に、微小空隙を介して対峙する導電性の探針を配設し、前記誘電体に対して表面に垂直方向に低周波の交番電界を印加しつつ前記探針直下の容量の容量変化を検出するものであって、探針と誘電体物質の間に探針先端半径aで規格化した空隙H=(h/a)が生じた場合の信号強度がΔC/Vn-2=ε(n)Snl(ε(2),H)/an-3で表せることに基き、誘電体物質に対して針先半径の小さい探針を組み合わせるよう構成した。
請求項（抜粋）：
背面に電極を配置した誘電体表面に、微小空隙を介して対峙する導電性の探針を配設し、前記誘電体に対して表面に垂直方向に低周波の交番電界を印加しつつ前記探針直下の容量変化を検出するものであって、前記探針と前記誘電体の表面間に探針先端半径aで規格化した空隙H=(h/a)が生じた場合の信号強度がΔC/Vn-2=ε(n)Snl(ε(2),H)/an-3で表せることに基き、誘電物質と針先半径の小さい探針を組み合わせることを特徴とする超高感度空隙計測方法。なお、上記の式においてΔCは容量変化量、Vは印加電圧、ε(2)は線形誘電率、ε(n)はn次の非線形誘電率であり、hは実際の空隙寸法である。また、Snl(ε(2),H)は比例係数であり、線形誘電率ε(2)と規格化した空隙H及び非線形の次数nのみによって決まる。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/20 B
, G01B 7/14 Z
2F063AA03
, 2F063AA23
, 2F063BB10
, 2F063CA40
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DB05
, 2F063DD02
, 2F063EA16
, 2F063EB23
, 2F063HA04
, 2F063JA01
, 2F063KA06
, 2F063LA11
審査官引用 (6件)
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誘電率計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-275553
出願人：株式会社ニコン
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走査型静電容量顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-186663
出願人：株式会社ニコン
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走査型静電容量顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-186665
出願人：株式会社ニコン
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引用文献：
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