特許
J-GLOBAL ID：200903051266362144

高次非線形誘電率を計測する走査型非線形誘電率顕微鏡

発明者：
長 康雄

長 康雄 について

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安武 正敏

安武 正敏 について

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渡辺 和俊

渡辺 和俊 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について

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長 康雄

長 康雄 について


代理人 (1件)： 山田 益男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120034
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323431
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、高次となるほど非線形誘電率は、プローブである探針直下の集中度が高くなるとの知見に基き、従来の非線形誘電率顕微鏡よりも高次の非線形誘電率を測定して分解能において優れた新たな非線形誘電率顕微鏡を開発し、提供することにある。【解決手段】 本発明の走査型非線形誘電率顕微鏡は、試料表面に接触させる探針と試料背面間に印加された低周波の交番電界によって変化する容量を測定するときに、従来の3次の非線形誘電率では無く、それより高い次数の非線形誘電率を分離測定すると共に、針先半径の値がより小さい探針を使用することによって、平面領域的にも深さ領域的にも狭い領域の情報を検出し、高分解能の画像を得ることが出来るように構成した。
請求項（抜粋）：
試料表面に接触させる探針と試料背面間に印加された低周波の交番電界によって変化する容量を測定する走査型非線形誘電率顕微鏡において、4次以上の高い次数の非線形誘電率を分離測定すると共に、針先半径の値がより小さい探針を使用することによって、平面領域的にも深さ領域的にも狭い領域の情報を検出し、高分解能の画像を得ることができることを特徴とする走査型非線形誘電率顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/20 ,  G01N 27/22
FI (2件)：
G01N 13/20 A ,  G01N 27/22 Z
Fターム (7件)：
2G060AA09 ,  2G060AF11 ,  2G060AG01 ,  2G060EA04 ,  2G060EB08 ,  2G060HA02 ,  2G060HC10
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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引用文献：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (11件)
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