欠陥分類方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：作田康夫 , 井上学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066542
公開番号（公開出願番号）：特開2004-295879
出願日： 2004年03月10日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】マニュアルで分類した欠陥を教師欠陥として分類基準を設定する手法は公知の方法があったが、設定された基準が今後取得する未知の欠陥に対して妥当で適当であるか推定する方法は知られていなかった。また、分類基準が適正でないと判断された場合に既に設定された分類基準に対してより適正な分類基準の設定を保障する手法は従来知られていなかった。【解決手段】2つの異なる分類基準をもとに分類クラスが未知の欠陥を分類し、分類結果が異なる欠陥を収集して、収集された欠陥にマニュアルで欠陥の分類クラスを与える。分類クラスの与えられた欠陥を、分類基準を設定するグループと評価するグループに分割し、分類基準を設定するグループに属する欠陥を最大の性能で分類するように設定された分類基準に基づき評価するグループに属する欠陥を分類した場合の分類性能を算出し、設定した分類基準の妥当性を評価する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料を撮像して検出した第1の欠陥群の画像を欠陥の分類クラスごとに分類するステップと、該分類クラスごとに分類した前記第1の欠陥群の画像の情報を用いて分類基準を作成するステップと、分類クラスが既知の前記試料上の第2の欠陥群の画像を該作成した分類基準に基いて分類するステップと、該分類クラスが既知の第2の欠陥群の画像を前記分類基準に基いて分類した結果に基いて前記分類基準の分類正解率を求めるステップと、該分類正解率のデータに基いて前記分類基準を修正するステップとを備えたことを特徴とする欠陥分類方法。

IPC (3件)：

G06T1/00 , G06T7/00 , H01L21/66

FI (3件)：

G06T1/00 305D , G06T7/00 250 , H01L21/66 J

Fターム (23件)：

4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB02 , 4M106DB05 , 4M106DB12 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 4M106DJ28 , 5B057AA03 , 5B057CG06 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DC02 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5L096BA03 , 5L096HA07 , 5L096JA11 , 5L096JA22 , 5L096KA01 , 5L096KA04 , 5L096MA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

欠陥分類方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-152663 出願人：株式会社日立製作所
画像自動分類方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-065151 出願人：株式会社日立製作所
ハイブリッドで一様に適用可能な自動欠陥分類法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-219833 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

審査官引用 (8件)

教示用データ作成方法並びに欠陥分類方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-154865 出願人：株式会社日立製作所
半導体ウェハと液晶ディスプレーの自動欠陥分類における増加的同時学習方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-501476 出願人：トライパスイメージングインコーポレイテッド
画像自動分類方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-065151 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る