特許
J-GLOBAL ID：200903033733927080

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
宮島 義一

宮島 義一 について

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高嶋 常雄

高嶋 常雄 について

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高林 幸夫

高林 幸夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317440
出願日： 1998年05月06日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 移動体をそれに必要な制御性や剛性等の特性に悪影響を及ぼさないで軽量化する。【解決手段】 基準面に支持され移動可能な移動体と、該移動体を該基準面上で非接触支持するための第1静圧軸受と、該移動体を所定方向に案内する案内面を有するガイドと、該案内面と該移動体とを非接触に保つための第2静圧軸受と、該移動体側に可動子を設けたリニアモータとを有するステージ装置において、該第1静圧軸受、第2静圧軸受およびリニアモータ可動子が接合される該移動体の部所の少なくとも1つに肉抜きを施す。
請求項（抜粋）：
移動可能な移動体と、該移動体を非接触に案内する静圧軸受と、該移動体を移動させるリニアモータとを備え、該静圧軸受もしくは該リニアモータの可動子の少なくとも一方が接合している該移動体の部位に肉抜きを施したことを特徴とするステージ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 1/01 ,  B23Q 1/25 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
H01L 21/68 K ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B ,  B23Q 1/02 Z ,  B23Q 1/14 Z
引用特許：
審査官引用 (11件)
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