プラズマディスプレイパネルにおけるマスクと基板との間のギャップの測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：天野広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-227269
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069414
出願日： 2002年08月05日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】プラズマディスプレイパネルの製造プロセスにおいて、大型基板を一括して露光する際に、マスクと基板との間のギャップを測定する。【解決手段】複数個のパターン52、53が形成されているガラスマスク51と、そのガラスマスクを介してパターン52、53を露光する基板との間のギャップを測定する方法であって、相互に隣接するパターン52、53の間に設けられている非パターン領域2aを介して基板にレーザ光を照射し、基板から反射してきたレーザ光に基づいて、ギャップを測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数個のパターンが形成されているガラスマスクと、そのガラスマスクを介して前記パターンを露光する基板との間のギャップを測定する方法であって、前記複数個のパターンのうちの相互に隣接するパターンの間に設けられている非パターン領域を介して前記基板にレーザ光を照射し、前記基板から反射してきたレーザ光に基づいて前記ギャップを測定する方法。

IPC (3件)：

G01B11/14 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (3件)：

G01B11/14 Z , G03F7/20 501 , H01L21/30 511

Fターム (27件)：

2F065AA22 , 2F065BB02 , 2F065BB29 , 2F065CC25 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065GG13 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065NN20 , 2F065PP11 , 2H097GA45 , 2H097GB02 , 2H097LA12 , 2H097LA20 , 5F046BA02 , 5F046CB17 , 5F046DA17 , 5F046DA27 , 5F046DB03 , 5F046DB08 , 5F046DC04 , 5F046EB02 , 5F046EB08 , 5F046EC05

引用特許：

審査官引用 (10件)

プロキシミティー露光装置、およびプロキシミティー露光装置におけるギャップ調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-366831 出願人：大日本印刷株式会社
特開平4-152204
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-056823 出願人：株式会社トプコン

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