特許
J-GLOBAL ID：200903023823021394

ペリクルの収納方法

発明者：
田村 篤

田村 篤 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (2件)： 今下 勝博 ,  岡田 賢治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-316103
公開番号（公開出願番号）：特開2008-129453
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】本発明は、ペリクル収納後の収納容器全体の重量増加を極力抑制しながら、輸送時のゆれによる振動に対しても、振動を抑制し得るペリクルの収納方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明に係るペリクルの収納方法は、ペリクル枠体2にペリクル膜3が展張されてなるペリクル1を、少なくともトレイ5と蓋4とからなるペリクル収納容器6に収納する方法であって、前記ペリクル1が、前記トレイ5に少なくとも2箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品Bに着脱可能な可動式ペリクル保持部品Aを介して保持・固定されて収納されることを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ペリクル枠体にペリクル膜が展張されてなるペリクルを、少なくともトレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納する方法であって、 前記ペリクルが、前記トレイに少なくとも2箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品に着脱可能な可動式ペリクル保持部品を介して保持・固定されて収納されることを特徴とするペリクルの収納方法。
IPC (4件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/673
FI (4件)：
G03F1/14 J ,  H01L21/30 503E ,  B65D85/38 K ,  H01L21/68 T
Fターム (24件)：
2H095BC31 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BA30 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096DA11 ,  3E096DB01 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06Y ,  3E096EA10Y ,  3E096FA02 ,  3E096FA09 ,  3E096FA20 ,  3E096FA22 ,  3E096FA23 ,  3E096GA14 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA13 ,  5F046AA21
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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