特許
J-GLOBAL ID：200903023982354396

プロキシミティ露光用フォトマスクおよびカラーフィルタの製造方法

発明者：
中澤 伸介

中澤 伸介 について

, 
矢野 哲朗

矢野 哲朗 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 山下 昭彦 ,  岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-236633
公開番号（公開出願番号）：特開2009-069388
出願日： 2007年09月12日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】プロキシミティ露光により、細かいパターンを形成することが可能なプロキシミティ露光用フォトマスク、およびそのプロキシミティ露光用フォトマスクを用いたカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。【解決手段】本発明は、透明基板、上記透明基板上に形成された略正多角形または略円形の遮光部、および上記透明基板上の上記遮光部の外周に形成された解像限界以下の大きさの補助遮光部を有することを特徴とするプロキシミティ露光用フォトマスクを提供することにより、上記目的を達成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明基板、前記透明基板上に形成された略正多角形または略円形の遮光部、および前記透明基板上の前記遮光部の外周に形成された解像限界以下の大きさの補助遮光部を有することを特徴とするプロキシミティ露光用フォトマスク。
IPC (5件)：
G03F 1/08 ,  G02B 5/20 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/20
FI (5件)：
G03F1/08 G ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/13 505 ,  G02F1/1335 515 ,  G03F7/20 501
Fターム (39件)：
2H048BA11 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BA48 ,  2H048BB01 ,  2H048BB02 ,  2H048BB06 ,  2H048BB12 ,  2H048BB42 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA12 ,  2H088MA18 ,  2H088MA20 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA34Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC10 ,  2H091FC29 ,  2H091FD04 ,  2H091GA06 ,  2H091LA15 ,  2H095BA03 ,  2H095BC04 ,  2H095BC05 ,  2H095BC09 ,  2H097FA02 ,  2H097FA03 ,  2H097GA45 ,  2H097LA17 ,  2H191FA02Y ,  2H191FA13Y ,  2H191FA14Y ,  2H191FC10 ,  2H191FC41 ,  2H191FD04 ,  2H191GA08 ,  2H191LA19
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (10件)
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