特許
J-GLOBAL ID:200903024621692064
電界放出型電子源装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-058134
公開番号(公開出願番号):特開2007-234546
出願日: 2006年03月03日
公開日(公表日): 2007年09月13日
要約:
【課題】ターゲット基板の支持強度を向上させる。【解決手段】真空容器内にターゲット基板103が収納されている。電界放出型電子源アレイ100から放出された電子ビームはターゲット基板上のターゲット120に到達する。ターゲット基板はスペーサ105により支持されている。真空容器のターゲット基板に対向する内壁面とターゲット基板との間に配置されたバネ性支持固定部材102はターゲット基板をスペーサに押し付ける方向の付勢力をターゲット基板に印加している。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の電界放出型陰極を備えた電界放出型電子源アレイと、
前記電界放出型電子源アレイに対向し且つ前記電界放出型電子源アレイから放出された複数の電子ビームが到達するターゲットを備えたターゲット基板と、
前記ターゲット基板をその内部に収納し、前記電界放出型電子源アレイと前記ターゲットとの間の空間を真空に保持する真空容器と
を有する電界放出型電子源装置であって、
前記ターゲットを前記電界放出型電子源アレイに対して離間させて、前記ターゲット基板を支持するスペーサと、
前記真空容器の前記ターゲット基板に対向する内壁面と前記ターゲット基板との間に配置され、前記ターゲット基板を前記スペーサに押し付ける方向の付勢力を前記ターゲット基板に印加するバネ性支持固定部材と
を更に有することを特徴とする電界放出型電子源装置。
IPC (3件):
H01J 29/86
, H01J 31/26
, H01J 31/12
FI (4件):
H01J29/86 Z
, H01J31/26
, H01J31/12 C
, H01J29/86 A
Fターム (12件):
5C032AA01
, 5C032AA04
, 5C032BB01
, 5C032BB18
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG02
, 5C036EH04
, 5C037AA01
, 5C037AB01
, 5C037AB23
引用特許: