ゾルゲルコーティング法によるセラミック厚膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-527922
公開番号（公開出願番号）：特表平11-502262
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】選択された基材上に10μmを超えるセラミック厚膜の製造方法が記載されている。従来のゾルゲル溶液に約90重量%以下の分割されたセラミック粒子が配合され、混合される。得られるスラリー又は塗料は平坦な又は他の形状の基材にスピンコート又は浸漬コート又は塗装され、焼成されて有機物質を除かれ、微結晶構造を形成する。次いでこの焼成した塗膜は加熱されてもよい。複合フィルムも予期されている。

請求項（抜粋）：

基材上に多結晶セラミック被膜を製造する方法であって、 (a)選択された有機金属ゾル-ゲル溶液と、前記溶液に対して約90重量%以下の選択された微粉セラミックとを混合して均一安定な分散液を作製する工程と; (b)前記安定な分散液を選択された前記基材に適用して約6μm以下の塗膜を形成する工程と; (c)前記塗布基材を約1000°C以下の温度で焼成して有機成分を除去し且つ前記基材上に安定で亀裂のない多結晶金属酸化物被膜を生成する工程と、を含んでなる方法。

引用特許：

審査官引用 (36件)

強誘電体薄膜素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-267607 出願人：セイコーエプソン株式会社
厚膜無機酸化物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-124432 出願人：株式会社リコー
厚膜無機複合酸化物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-147454 出願人：株式会社リコー

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