特許
J-GLOBAL ID：200903024770841510
帯状シート材の表面処理装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118385
公開番号（公開出願番号）：特開2001-303249
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】 帯状シート材をその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ、プラズマ等による表面改質処理やスパッタ法、プラズマCVD法等による成膜処理などの表面処理を行なう表面処理装置において、シート材を正逆走行可能に構成した場合でも、簡易な構造でシート材の下方へのズレを防止する。【解決手段】 走行するシート材Wの下方へのズレを矯正する矯正ロール56を備え、矯正ロール56は、シート材Wがロール側面に対して周方向に所定の距離接触して通過することで、シート材Wの走行方向をロール側面に沿って変える回動自在のロールであり、かつ、進入側のシート面Wiと離脱側のシート面Woとの間を略二等分する平面P内においてロール軸56aの上方がシート材の非接触側に傾くように傾斜可能に設けられた。
請求項（抜粋）：
ロール軸を鉛直方向に向けて配した複数のロールにより帯状シート材をその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ、該シート材に対して表面処理を行なう表面処理装置において、走行する前記シート材の下方へのズレを矯正する矯正ロールを備え、該矯正ロールは、前記シート材がロール側面に対して周方向に所定の距離接触して通過することで、該シート材の走行方向をロール側面に沿って変える回動自在のロールであり、かつ、ロールに対し進入側のシート面と離脱側のシート面との間を略二等分する平面内においてロール軸の上方がシート材の非接触側に傾くように傾斜可能に設けられたことを特徴とする帯状シート材の表面処理装置。
IPC (5件)：
C23C 14/56
, B01J 19/00
, B65H 23/038
, C08J 7/00
, C23C 16/54
C23C 14/56 B
, B01J 19/00 J
, B65H 23/038
, C08J 7/00 Z
, C23C 16/54
3F104AA03
, 3F104CA07
, 3F104GA01
, 3F104GA15
, 3F104JB05
, 4F073BB01
, 4F073CA04
, 4F073CA49
, 4G075AA24
, 4G075DA02
, 4G075DA12
, 4G075EA01
, 4G075ED04
, 4G075ED06
, 4G075ED08
, 4K029AA25
, 4K029JA10
, 4K029KA01
, 4K030CA17
, 4K030GA14
