特許
J-GLOBAL ID：200903024919451400

静電チャック

発明者：
石田 弘徳

石田 弘徳 について

, 
塩貝 達也

塩貝 達也 について


出願人/特許権者：
太平洋セメント株式会社

太平洋セメント株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-036554
公開番号（公開出願番号）：特開2005-228934
出願日： 2004年02月13日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：
【課題】 セラミック中に埋設された金属製電極を具備し、該セラミック上に被吸着物を吸着する静電チャックであって、該セラミックの熱膨張係数が小さく、かつ、該セラミックが長期にわたり割れない静電チャックを提供する。【解決手段】 セラミック中に埋設された金属製電極を具備し、該セラミック上に被吸着物を吸着する静電チャックであって、該セラミックの23±3°Cにおける熱膨張係数が-1×10-6〜1×10-6/°Cであって、かつ、該セラミックの平均粒径が6μm以下であることを特徴とする静電チャック。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
セラミック中に埋設された金属製電極を具備し、該セラミック上に被吸着物を吸着する静電チャックであって、該セラミックの23±3°Cにおける熱膨張係数が-1×10-6〜1×10-6/°Cであって、かつ、該セラミックの平均粒径が6μm以下であることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  C04B35/495 ,  H02N13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D ,  C04B35/00 J
Fターム (25件)：
4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA11 ,  4G030AA12 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA47 ,  4G030AA48 ,  4G030AA51 ,  4G030AA52 ,  4G030BA12 ,  4G030BA20 ,  4G030BA24 ,  4G030CA04 ,  4G030CA07 ,  4G030GA11 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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