特許
J-GLOBAL ID：200903025285629320
ガラス基板研磨用キャリア及びガラス基板研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131567
公開番号（公開出願番号）：特開2002-326156
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月12日
要約：
【要約】【課題】 主表面ラッピング工程時における円盤状のガラス基板の外周端面の傷の発生を抑制することができるガラス基板研磨用キャリア及びガラス基板研磨装置を提供する。【解決手段】 両面ラッピングマシン20は、ガラス基板ワーク30を収容するホール28を備えるキャリア27を有しており、このキャリア27では、ガラス基板ワーク30の半径rに対するホール28の半径Rの割合、即ちR/rの値を1.030以上とする。
請求項（抜粋）：
円盤状のガラス基板を研磨する研磨孔を有するガラス基板研磨用キャリアにおいて、前記研磨孔の孔径が該ガラス基板の外径に対して所定の比率を有することを特徴とするガラス基板研磨用キャリア。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 7/24
, G11B 5/84
B24B 37/04 C
, B24B 7/24 A
, G11B 5/84 A
3C043BB06
, 3C043CC07
, 3C043DD05
, 3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058CB10
, 3C058DA06
, 3C058DA18
, 5D112GA09
