特許
J-GLOBAL ID:200903025313258457

結晶配向セラミックスの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳 ,  高橋 祥起
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-112468
公開番号(公開出願番号):特開2007-284281
出願日: 2006年04月14日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】緻密性に優れ、高配向な結晶配向セラミックスの製造方法を提供すること。【解決手段】準備工程、混合工程、成形工程、及び焼成工程を行うことにより、等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなり、その結晶粒の特定の結晶面Aが配向する結晶配向セラミックスを製造する方法である。準備工程においては、異方形状の第1配向粒子からなる第1異方形状粉末2と、その1/3以下の粒径を有する微細粉末3として、焼成温度よりも高い融点の第1微細粉末31と焼成温度よりも低い融点の第2微細粉末32とを準備する。混合工程においては、微細粉末3と第1異方形状粉末2とを混合する。成形工程においては、原料混合物を成形して成形体を作製する。焼成工程においては、成形体を加熱し、等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなる結晶配向セラミックスを作製する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一般式(1):ABO3(Aサイトは、K+Na又はLi+Na+Kを主成分とし、Bサイトは、Nb、Nb+Ta、Nb+Sb、又はNb+Ta+Sbを主成分とし、Oは酸素)で表される等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなり、該多結晶体を構成する結晶粒の特定の結晶面Aが配向する結晶配向セラミックスの製造方法であって、 ペロブスカイト型化合物よりなり、上記特定の結晶面Aと格子整合性を有する結晶面が配向して配向面を形成している異方形状の第1配向粒子からなる第1異方形状粉末と、該第1異方形状粉末の1/3以下の粒径を有し、上記第1異方形状粉末と共に焼結させることにより上記等方性ペロブスカイト型化合物を生成する微細粉末とを準備する準備工程と、 該微細粉末と上記第1異方形状粉末とを混合して原料混合物を作製する混合工程と、 上記第1異方形状粉末の上記配向面が略同一の方向に配向するように、上記原料混合物を成形して成形体を作製する成形工程と、 上記成形体を加熱し、上記第1異方形状粉末と上記微細粉末とを焼結させて、上記等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなる上記結晶配向セラミックスを作製する焼成工程とを有しており、 上記微細粉末としては、上記一般式(1)で表される上記等方性ペロブスカイト型化合物のAサイトのK源となる物質を含有し、かつ融点が上記焼成工程における焼成温度よりも高い第1微細粉末と、上記一般式(1)で表される上記等方性ペロブスカイト型化合物のAサイトのK源となる物質を含有し、かつ融点が上記焼成工程における焼成温度よりも低い第2微細粉末とを用い、 上記混合工程においては、上記一般式(1)で表される上記等方性ペロブスカイト型化合物におけるAサイト元素のKのうちの1at%〜15at%が上記第2微細粉末から供給されるように、上記第1異方形状粉末と上記第1微細粉末と上記第2微細粉末との混合を行うことを特徴とする結晶配向セラミックスの製造方法。
IPC (4件):
C30B 29/30 ,  C04B 35/00 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24
FI (4件):
C30B29/30 A ,  C04B35/00 J ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A
Fターム (25件):
4G030AA02 ,  4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA42 ,  4G030BA10 ,  4G030CA02 ,  4G030CA08 ,  4G030GA01 ,  4G030GA20 ,  4G030GA27 ,  4G077AA02 ,  4G077AA07 ,  4G077BC31 ,  4G077BC36 ,  4G077BC40 ,  4G077CA03 ,  4G077EC02 ,  4G077EC07 ,  4G077HA01 ,  4G077HA05 ,  4G077HA11 ,  4G077JA05 ,  4G077JB12
引用特許:
出願人引用 (12件)
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