特許
J-GLOBAL ID：200903025947127304

スクリーン印刷装置、発光装置の製造方法および製造装置

発明者：
林 建二

林 建二 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-261707
公開番号（公開出願番号）：特開2007-069548
出願日： 2005年09月09日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】 気泡の発生を防止して平坦で欠損のない膜が得られ、かつ印刷動作、スクリーンメッシュ剥離動作が円滑に行えるスクリーン印刷装置、この種のスクリーン印刷装置を用いた発光装置の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 本発明のスクリーン印刷装置は、基台上に配置した基板200の上方にスクリーンメッシュ51を配置してスキージ53により塗布材料をパターン印刷する印刷動作と、印刷動作の後に基板200からスクリーンメッシュ51を剥離する剥離動作とを行うものであり、剥離動作時の雰囲気圧力が印刷動作時の雰囲気圧力よりも高く設定されていることを特徴とする。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気でスクリーン印刷を行うスクリーン印刷装置であって、 基台上に配置した被印刷基板の上方にスクリーンメッシュを配置してスキージにより塗布材料をパターン印刷する印刷動作と、前記印刷動作の後に前記基板から前記スクリーンメッシュを剥離する剥離動作とを行うものであり、 前記剥離動作時の雰囲気圧力が前記印刷動作時の雰囲気圧力よりも高く設定されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
IPC (6件)：
B41F 15/40 ,  B41F 15/08 ,  B41F 17/14 ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (6件)：
B41F15/40 B ,  B41F15/08 303E ,  B41F17/14 E ,  H05B33/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
2C035AA06 ,  2C035FA27 ,  2C035FC10 ,  2C035FD01 ,  2C035FD27 ,  2C035FE01 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BB02 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)

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