特許
J-GLOBAL ID：200903026223060760

マーク検知装置

発明者：
小林 孝次

小林 孝次 について

, 
森川 誠

森川 誠 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-266617
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078511
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】照合画像にノイズが多少混入していても、精度よく登録画像と照合画像とを照合し、検査対象上のマークを確実に検知する。【解決手段】登録画像GRにフーリエ変換を施してフーリエ画像データFRを得る。照合画像GCにフーリエ変換を施してフーリエ画像データFCを得る。FRとFCとを合成し、振幅抑制処理を行い、振幅抑制処理された合成フーリエ画像データFCRrを得る。FCRrの複素数成分にFRの振幅成分に比例した係数をそれぞれ掛け、更にフーリエ変換を施して相関データDCRを得る。相関データDCR上に定めた相関成分エリアSCRの個々の画素毎の相関成分の強度に基づいて登録画像GRと照合画像GCとを照合する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
検査対象上のマークを撮像し、この撮像したマークを含む照合画像と予め登録されているマークを含む登録画像とを照合し、この照合結果に基づいて前記検査対象上のマークを検知するマーク検知装置において、 前記登録画像にフーリエ変換を施して登録フーリエパターンデータを作成する登録フーリエパターンデータ作成手段と、 前記照合画像にフーリエ変換を施して照合フーリエパターンデータを作成する照合フーリエパターンデータ作成手段と、 前記登録フーリエパターンデータと前記照合フーリエパターンデータとを合成し、これによって得られる合成フーリエパターンデータに対して振幅抑制処理を行い、振幅抑制処理された合成フーリエパターンデータを作成する合成フーリエパターンデータ作成手段と、 前記振幅抑制処理された合成フーリエパターンデータの複素数成分に対して、前記登録フーリエパターンデータの空間周波数強度に応じてそれぞれ重み付けを施し、更にフーリエ変換および逆フーリエ変換の何れか一方を施して相関データとするパターン処理手段と、 このパターン処理手段によって得られた相関データ上に定められた所定の相関成分エリアの個々の画素毎の相関成分の強度に基づいて前記登録画像と前記照合画像とを照合する照合手段と を備えたことを特徴とするマーク検知装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G06T 7/60 ,  G01B 11/00
FI (4件)：
G01B11/24 K ,  G06T7/60 150B ,  G01B11/24 F ,  G01B11/00 H
Fターム (27件)：
2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065AA56 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ39 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA02 ,  5L096FA23 ,  5L096FA34 ,  5L096FA69 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03 ,  5L096KA13
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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