特許
J-GLOBAL ID：200903026921762520
双極型静電チャックの再生方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
成瀬 勝夫
, 中村 智廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434639
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191500
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】使用済みの双極型静電チャックが、再生により再利用可能かどうかについて判定でき、無駄な再生に係る処理の問題を解決すると共に、酸化皮膜を再生して得た双極型静電チャックの品質が低下することがない双極型静電チャックの再生方法を提供する。【解決手段】双極型静電チャックを再生するかどうかを判定するための検査を行なう検査工程と、検査工程で得られた検査結果から静電チャックを再生するかどうかを判定する判定工程と、判定工程で再生すると判定した場合に上記静電チャックの露出面における酸化皮膜を除去する皮膜除去工程と、皮膜除去工程で得られた静電チャックを研摩する研摩工程と、研摩工程で得られた静電チャックに酸化皮膜を形成する皮膜再生工程とを含む再生方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成された円盤状の基部電極と、上記アルミニウム材で形成された環状電極とから構成され、
上記基部電極が、環状電極を嵌め込む環状凹溝を有してこの環状凹溝に嵌め込まれた環状電極と共に試料を吸着する試料吸着面を形成し、この基部電極の外周面にはフランジ部が突設されて上記試料吸着面と反対側の面にフランジ部と共にベース面を形成し、
また、上記環状電極が表面に酸化皮膜を有し、上記基部電極がベース面を除いた表面に酸化皮膜を有した双極型の静電チャックについて、
この静電チャックを再生する再生方法であって、
上記静電チャックを再生するかどうかを判定するための検査を行なう検査工程と、この検査工程で得られた検査結果から静電チャックを再生するかどうかを判定する判定工程と、この判定工程で再生すると判定した場合に上記静電チャックの露出面における酸化皮膜を除去する皮膜除去工程と、この皮膜除去工程で得られた静電チャックを研摩する研摩工程と、この研摩工程で得られた静電チャックに酸化皮膜を形成する皮膜再生工程とを含むことを特徴とする双極型静電チャックの再生方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F031CA02
, 5F031HA03
, 5F031HA18
出願人引用 (1件)
-
UK Patent Application GB 2050064 A
審査官引用 (6件)
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