特許
J-GLOBAL ID：200903075471273533

静電チャック部品および静電チャック装置およびその製造方法

発明者：
牛嶋 邦昭

牛嶋 邦昭 について

, 
杉浦 弘人

杉浦 弘人 について


出願人/特許権者：
ラサ工業株式会社

ラサ工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-109771
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264223
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】耐久性が高く長寿命で、仮に破損しても、安価にかつ容易に再生使用を可能とする静電チャックプレートおよび静電チャック装置を提供すること。【解決手段】セラミックスプレート上に、静電吸着用内部電極となる金属質層と、静電吸着面となるセラミックス誘電体層を順次積層して形成することを特徴とする静電チャックプレートと、該静電チャックプレートを具備してなる静電チャック装置により、上記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
セラミックスプレート上に、静電吸着用内部電極となる金属質層と、静電吸着面となるセラミックス誘電体層を順次積層して形成することを特徴とする静電チャックプレート。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 622
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/304 622 G
Fターム (4件)：
5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA10 ,  5F031HA18
引用特許：
審査官引用 (11件)
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