特許
J-GLOBAL ID：200903027309715099
アライメント方法とその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315638
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】 フォトマスクのアライメントマークを基板の外側に設け且つ十分な精度でアライメント出来るようにすると共にフォトマスクのアライメントマークが基板に焼き付けられないようにする。【解決手段】 アライメントマーク(5)を有する基板(4)と、基板(4)の外側にてアライメントマーク(3)が描かれているフォトマスク(1)とを相対移動させて両アライメントマーク(3)(5)を一致させるアライメント方法において、一方のアライメントマークを撮像した後、画像処理して基準画像として映し出し、続いて他のアライメントマークを撮像して画像処理し、既に映し出されている基準画像に重ねて表示し、両アライメントマーク(3)(5)が不一致の場合、基板(4)とフォトマスク(1)とを相対移動させて前記両アライメントマーク(3)(5)を一致させる。
請求項（抜粋）：
アライメントマークを有し、フォトマスクに描かれた微細回路パターンが焼き付けられる基板と、前記基板に焼き付けるべき微細回路パターン及び前記基板の外側にて前記基板に微細回路パターンを焼き付ける際に使用するアライメントマークとが描かれているフォトマスクとを相対的に移動させて両アライメントマークを一致させるアライメント方法において、一方の基準となるアライメントマークを画像取込手段にて取り込んで、画像処理した後これを記憶すると共に基準アライメント画像として映し出し、続いて他のアライメントマークを画像取り込み手段で取り込んで、画像処理した後、既に映し出されている基準アライメント画像に重ねて新たに取り込んだアライメント画像を表示するようにし、両アライメント画像が不一致の場合、基板とフォトマスクとを相対移動させて前記両アライメント画像を一致させる事を特徴とするアライメント方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 506 J
, G03F 9/00 H
5F046BA02
, 5F046CB17
, 5F046EB01
, 5F046EB02
, 5F046EB08
, 5F046ED01
, 5F046FA10
, 5F046FB02
, 5F046FB04
, 5F046FB08
, 5F046FB12
, 5F046FB19
, 5F046FC03
, 5F046FC04
, 5F046FC05
