特許
J-GLOBAL ID：200903027609371022
改良された試験構造および検査方法並びに利用方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-577600
公開番号（公開出願番号）：特表2004-501505
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】【解決手段】サンプルを検査するための方法が開示されている。第1の方法は、第1のグループの試験構造に関連する第1のフィールドに移動する工程を備える。第1のグループの試験構造の一部は、第1のフィールド内に存在する。この方法は、さらに、第1のグループの試験構造内に欠陥が存在するか否かを決定するために第1のフィールドを走査する工程を備える。第1のグループの試験構造内に欠陥があると決定された場合、その方法は、さらに、第1のグループの試験構造内における特定の欠陥の位置を決定するために、領域の移動を繰り返してその領域を走査する工程を備える。この第1の方法の実施に適した試験構造も開示されている。【選択図】図32
請求項（抜粋）：
サンプルを検査する方法であって、
(a) 第1のグループの試験構造に関連する第1のフィールドであって、前記第1のグループの試験構造の一部が含まれる第1のフィールドに移動する工程と、
(b) 第1のフィールドを走査して前記第1のグループの試験構造内に欠陥が存在するか否かを決定する工程と、
(c) 前記第1のグループの試験構造内に欠陥があると決定された場合、複数の領域への移動を繰り返しつつ前記複数の領域を走査して前記第1のグループの試験構造内における特定の欠陥の位置を決定する工程と、
を備える、検査方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/66 S
, H01L21/66 A
, H01L21/66 C
4M106AA01
, 4M106AA07
, 4M106BA02
, 4M106CA16
, 4M106DA15
, 4M106DH24
, 4M106DJ04
, 4M106DJ20
, 4M106DJ38
出願人引用 (7件)
-
検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-360306
出願人：株式会社ニコン
-
欠陥検査方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-181056
出願人：株式会社日立製作所
-
データ変換処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-095128
出願人：新光電気工業株式会社
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
