特許
J-GLOBAL ID：200903027944970828
カーボンファイバー、電子放出素子、電子源、画像形成装置、ライトバルブ、二次電池の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-058674
公開番号（公開出願番号）：特開2004-307324
出願日： 2004年03月03日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】 熱CVD法により触媒を介してカーボンファイバーを成長させるカーボンファイバーの製造方法において、基板上の成長位置、成長面積によらずに均一な膜厚のカーボンファイバーが得られる製造方法を提供する。【解決手段】 触媒層を形成した基板を反応容器内に配置し、該反応容器内の雰囲気を、分圧が10Pa以下の炭素含有ガスを含む減圧雰囲気として上記基板を加熱し、触媒層上にカーボンファイバーを成長させる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
熱CVD法を用いたカーボンファイバーの製造方法であって、
触媒層がその表面に配置された基板を、炭素含有ガスを含む減圧雰囲気中において、加熱し、上記触媒層よりカーボンファイバーを成長させる工程を少なくとも有しており、
前記炭素含有ガスの分圧が、前記減圧雰囲気の全圧の1/1000以下であり、且つ、10Pa以下であることを特徴とするカーボンファイバーの製造方法。
IPC (3件)：
C01B31/02
, C23C16/04
, H01J9/02
C01B31/02 101F
, C01B31/02 101Z
, C23C16/04
, H01J9/02 B
4G146AA01
, 4G146AA02
, 4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AB07
, 4G146AD23
, 4G146AD24
, 4G146AD29
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC38A
, 4G146BC38B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030BA18
, 4K030BA27
, 4K030BA38
, 4K030BB14
, 4K030CA06
, 4K030CA17
, 4K030DA01
, 4K030FA10
, 4K030JA09
, 4K030LA11
, 4K030LA15
, 4K030LA18
, 5C127AA01
, 5C127BA09
, 5C127BA13
, 5C127BA15
, 5C127BB05
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127DD12
, 5C127DD39
, 5C127EE04
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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