特許
J-GLOBAL ID：200903027971137127
ワイヤソー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
木村 高久
, 小幡 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-280887
公開番号（公開出願番号）：特開2004-074401
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】 ワークの大きさ(インゴットの径の大きさ)いかんにかかわらず、うねりを抑制できるようにする。また新規開発増大を招くことがなく、制御安定性を向上させ、ワイヤの断線を防止し、切断部位に精度よくスラリを供給する。 【解決手段】 一対のサブガイドローラ11、12がワイヤ6に押し当てられた際に、一対のサブガイドローラ11、12間の距離L1が、ワーク1の大きさ(インゴット1の径Dc)に応じた距離L1(=Dc+Dr+Ls)に調整される。また一対の加工用ローラ7、8間の距離L1がワーク1の大きさ(インゴット1の径Dc)に応じて調整される。このとき調整用ローラ19を移動させることでワイヤ周長Wが一定に保持される。また一対のガイドバー41、42には、ワイヤ6のピッチに応じた間隔で溝43が形成されており、当該溝43内に加工用ローラ7、8とインゴット1間のワイヤ6が位置されるように、一対のガイドバー41、42は位置決めされている。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
前記ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
前記一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
前記一対の加工用ローラ間のワイヤに押し当てられる一対のサブガイドローラと、
前記一対のサブガイドローラがワイヤに押し当てられた際に、当該一対のサブガイドローラ間の距離が、ワークの大きさに応じた距離となるように一対のサブガイドローラを移動させるサブガイドローラ移動手段と
を備えたことを特徴とするワイヤソー装置。
IPC (3件)：
B24B27/06
, B28D5/04
, H01L21/304
B24B27/06 R
, B24B27/06 D
, B28D5/04 C
, H01L21/304 611W
3C058AA05
, 3C058AA14
, 3C058AC02
, 3C058AC04
, 3C058BA06
, 3C058BB02
, 3C058BC02
, 3C058CB06
, 3C058DA03
, 3C069BA06
, 3C069BB01
, 3C069BC02
, 3C069CA04
, 3C069CA11
, 3C069DA06
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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固定砥粒ワイヤソー
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-201925
出願人：株式会社東京精密
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特開昭54-112084
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特開昭61-100366
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