特許
J-GLOBAL ID：200903028005161743
表面形状測定装置及びその方法、プログラム並びに記憶媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289786
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097922
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 被測定物や光学系を測定中に移動させることなく、光源波長の1/2を超えるような段差を含む被測定物の表面もサブフリンジオーダーで高精度かつ容易に測定する。【解決手段】 被測定物に光を照射したときの反射光と参照光との間で発生させた干渉縞をCCDで撮像した画像データである干渉縞データを取り込み(ステップS1)、干渉縞データからフレネル回折計算で画像の複素振幅を求める(ステップS3,S4,S10〜S12)。そして、複素振幅の振幅データを用いて合焦状態を判定し、合焦法の原理により前記被測定物の表面形状のデータを求める(ステップS5,S8,S9)。また、複素振幅の位相データを用いて干渉計測の原理により被測定物の表面形状のデータを求める(ステップS13)。そして、この両方の表面形状のデータを合成又は比較して、最終的に被測定物の表面形状のデータを求める(ステップS14)。
請求項（抜粋）：
被測定物に照射する光を発する光源と、その光の被測定物における反射光と所定の参照光との間で干渉縞を発生させる干渉光学系と、この干渉縞を撮像して当該干渉縞の画像データである干渉縞データを出力する撮像素子と、前記干渉縞データに基づいて前記反射光の光軸方向の複数位置における前記被測定物の反射光の位相を示す位相データ及び振幅を示す振幅データを求める光学データ検出手段と、前記振幅データを用いて合焦状態を判定し、合焦法の原理により前記被測定物の表面形状のデータである第1の表面形状データを求める第1の表面形状データ作成手段と、前記位相データを用いて干渉計測の原理により前記被測定物の表面形状のデータである第2の表面形状データを求める第2の表面形状データ作成手段と、前記第1の表面形状データと前記第2の表面形状データとを合成又は比較して、前記被測定物の表面形状のデータである第3の表面形状データを求める合成又は比較手段と、を備えている表面形状測定装置。
Fターム (15件)：
2F065AA53
, 2F065DD03
, 2F065FF10
, 2F065FF52
, 2F065FF54
, 2F065GG05
, 2F065GG21
, 2F065HH02
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL09
, 2F065LL37
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
