特許
J-GLOBAL ID：200903028029752700

プローブ装置

発明者：
長谷川 義栄

長谷川 義栄 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175666
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004662
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【目的】 擦り作用を被検査体の電極部に効果的に作用させると共に、プローブ要素の不規則な変形を防止すること【解決手段】 プローブ装置は、複数の配線部を電気絶縁性フィルムの一方の面に有するシート状部材をフィルム状プローブとして用いる。シート状部材は、その前縁をプローブホルダのプローブ取付部前端位置又はプローブ取付部より前方の位置とし、各配線部の突起電極をプローブ取付部に対応する箇所又はプローブ取付部より前方の箇所に形成し、隣り合う配線部の間を伸びるスリットを突起電極の配置位置に対応する箇所に有する。弾性体は少なくとも突起電極が形成された箇所に対応するシート状部材の箇所に接触している。
請求項（抜粋）：
互いに並列的に伸びる複数の配線部を電気絶縁性フィルムの一方の面に有するシート状部材と、前記シート状部材が前記フィルムの側を上側とされた状態に装着された下面を有する取付部を前部に有するプローブホルダと、前記シート状部材の上面に接触する弾性体とを含み、前記シート状部材は、その前端縁を前記取付部の位置又は前記取付部より前方の位置とされており、また各配線部に形成された突起電極を前記取付部に対応する箇所又は前記取付部より前方の箇所に有し、さらに隣り合う配線部の間を伸びるスリットを前記突起電極の配置位置に対応する箇所に有し、前記弾性体は少なくとも前記突起電極が形成された箇所に対応する前記シート状部材の箇所に接触している、プローブ装置。
IPC (2件)：
G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 B
Fターム (16件)：
2G011AA15 ,  2G011AA21 ,  2G011AB01 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AF06 ,  4M106AA20 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10
引用特許：
審査官引用 (10件)
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