特許
J-GLOBAL ID：200903028604430701
微細構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-371550
公開番号（公開出願番号）：特開2006-175557
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】梁のバネ定数および梁の反りを低減することができる微細構造体を提供する。【解決手段】梁13の基部13aは、十分に薄く形成される。これにより、梁13は、全体的に厚く形成する場合よりも高さ方向のバネ定数が小さくなる。また、梁13の肉厚部13bは、基部13aよりも十分に厚く形成される。これにより、梁13は、全体的に薄く形成する場合よりも梁13の反り量が小さくなる。このように部分的に厚さが異なる梁13を設けることにより、微細構造体10では、梁13の高さ方向のバネ定数の増加を抑制するとともに梁13の反りを低減することが可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された支持部と、
この支持部により支持され、少なくとも一部が前記基板から離間した梁と
を有する微細構造体において、
前記梁の一部は、他の部分よりも少なくとも前記基板の法線方向に厚く形成される
ことを特徴とする微細構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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