特許
J-GLOBAL ID:200903028766265607
パワー半導体モジュール
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
,
代理人 (2件):
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-108311
公開番号(公開出願番号):特開2008-270353
出願日: 2007年04月17日
公開日(公表日): 2008年11月06日
要約:
【課題】クラックや亀裂などの不具合を発生させ難いパワー半導体モジュールを提供する。【解決手段】2つの部品の間を、Bi系はんだ材料により接合してなるパワー半導体モジュールであって、前記2つの部品のBi系はんだ材による被接合面にCu層を備える。被接合部品である上記2つの部品は、半導体素子20と絶縁部30、又は絶縁部30と放熱板40の組み合わせである。絶縁部は、Cu34/SiNx32/Cu36の積層体で構成される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
Cu層を表面に備えたパワー半導体素子と、SiNxセラミックス板の両面にCu層を備えたCu/SiNx/Cu積層体の絶縁部と、を有し、
前記パワー半導体素子と前記絶縁部とをそれぞれのCu層が対向するように配して、2つのCu層の間をBi系はんだ材料で接合してなるパワー半導体モジュール。
IPC (3件):
H01L 25/07
, H01L 25/18
, H01L 23/40
FI (2件):
H01L25/04 C
, H01L23/40 F
Fターム (4件):
5F136BB18
, 5F136DA27
, 5F136EA41
, 5F136EA61
引用特許: