特許
J-GLOBAL ID：200903028904211335
機能性素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山下 昭彦
, 岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317265
公開番号（公開出願番号）：特開2004-151428
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】本発明は、高精細に機能性部を形成することが可能であり、かつ目的とする形状の膜厚の制御が容易である機能性素子の製造方法の提供を主目的とするものである。【解決手段】上記目的を達成するために、撥液性領域と、前記撥液性領域内に機能性層を形成するパターンの外周に沿って形成され、かつ親液性を有する機能性凸部形成用親液性領域とを有するパターン形成体用基板の、前記機能性凸部形成用親液性領域上に機能性層形成用塗工液を塗布し、機能性凸部を形成する機能性凸部形成工程と、前記機能性凸部を、後に塗布される前記機能性層形成用塗工液と一体化しない程度に硬化させる機能性凸部硬化工程と、前記機能性凸部で囲われた機能性内側領域に、前記機能性層形成用塗工液を吐出法により塗布し、機能性内側部を形成する機能性内側部形成工程と、前記機能性凸部と前記機能性内側部とからなる機能性層を硬化する機能性層硬化工程とを有することを特徴とする機能性素子の製造方法を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
撥液性領域と、前記撥液性領域内に機能性層を形成するパターンの外周に沿って形成され、かつ親液性を有する機能性凸部形成用親液性領域とを有するパターン形成体用基板の、前記機能性凸部形成用親液性領域上に機能性層形成用塗工液を塗布し、機能性凸部を形成する機能性凸部形成工程と、
前記機能性凸部を、後に塗布される前記機能性層形成用塗工液と一体化しない程度に硬化させる機能性凸部硬化工程と、
前記機能性凸部で囲われた機能性内側領域に、前記機能性層形成用塗工液を吐出法により塗布し、機能性内側部を形成する機能性内側部形成工程と、
前記機能性凸部と前記機能性内側部とからなる機能性層を硬化する機能性層硬化工程と
を有することを特徴とする機能性素子の製造方法。
IPC (3件)：
G02B5/20
, G02B3/00
, G09F9/00
G02B5/20 101
, G02B3/00 A
, G09F9/00 342Z
2H048BA02
, 2H048BA55
, 2H048BA58
, 2H048BA60
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB41
, 2H048BB42
, 5G435AA17
, 5G435BB05
, 5G435CC09
, 5G435GG12
, 5G435KK05
, 5G435KK07
, 5G435KK10
