特許
J-GLOBAL ID：200903029115666723
走査型プローブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092635
公開番号（公開出願番号）：特開平10-283972
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 再現性よく表面形状測定が可能であり、加工精度、記録精度がよく、容易に情報の再生が可能な走査型プロ-ブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置を提供する。【解決手段】 先端に探針を有するプロ-ブ1と、圧電振動体2と交流電圧発生手段3からなる加振部と、水晶振動子4と電流電圧増幅回路5からなる振動検出部と、プロ-ブを試料表面に接近させる粗動手段6と、Z軸微動素子11とZサ-ボ回路12とからなる試料とプロ-ブ間の距離制御手段と、XY微動素子13とXY走査回路14とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデ-タ処理手段15とからなり、さらに弾性体16のバネ圧でプロ-ブ1を水晶振動子4に固定することとした走査型プロ-ブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置の構成とした。
請求項（抜粋）：
先端に探針を有するプローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、プローブを試料表面に接近させる粗動手段と、Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と、XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置において、a)弾性体のバネ圧でプローブを水晶振動子に固定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置。
IPC (4件)：
H01J 37/30
, G01N 37/00
, G11B 9/00
, H01L 21/66
H01J 37/30 Z
, G01N 37/00 A
, G11B 9/00
, H01L 21/66 C
