特許
J-GLOBAL ID:200903029366936819
カーボンナノチューブ製造装置及びカーボンナノチューブの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
名古屋国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-152885
公開番号(公開出願番号):特開2008-303117
出願日: 2007年06月08日
公開日(公表日): 2008年12月18日
要約:
【課題】炭素源となるガスを効率的に分解させることができるカーボンナノチューブ製造装置及びカーボンナノチューブの製造方法を提供すること。【解決手段】反応管1内において、Co触媒のカーボンナノチューブ成長触媒25より上流側に、Ti触媒の炭素源分解触媒29が配置されている。よって、炭素源がカーボンナノチューブ成長触媒25に到達する前に、炭素源の分解を効率よく行うことができるので、即ち、反応管1内で十分な熱分解反応を行うことができるので、カーボンナノチューブの成長速度を速めることができる。また、カーボンナノチューブ成長触媒25と炭素源分解触媒29との触媒の種類を違えて、それぞれに最適な触媒を採用している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
化学気相成長法を用いて垂直配向カーボンナノチューブを製造する装置において、
炭素源となる原料ガスを供給する供給経路を有するとともに、該供給経路にカーボンナノチューブ成長触媒が配置される反応容器と、
前記反応容器を加熱する加熱手段と、
前記供給経路内に配置される前記炭素源を分解する炭素源分解触媒と、
を備え、
前記反応容器内のカーボンナノチューブ成長触媒によって、カーボンナノチューブを製造することを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。
IPC (3件):
C01B 31/02
, B01J 23/75
, B01J 21/00
FI (3件):
C01B31/02 101F
, B01J23/74 311M
, B01J21/00 M
Fターム (38件):
4G146AA11
, 4G146AB04
, 4G146AB06
, 4G146AD20
, 4G146AD21
, 4G146AD26
, 4G146BA11
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146BC48
, 4G146DA03
, 4G146DA23
, 4G146DA26
, 4G146DA47
, 4G169AA01
, 4G169AA03
, 4G169AA08
, 4G169BB02B
, 4G169BB04B
, 4G169BC50B
, 4G169BC59A
, 4G169BC59B
, 4G169BC67A
, 4G169BC67B
, 4G169CB81
, 4G169DA06
, 4G169EA01X
, 4G169EA08
, 4G169EB18X
, 4G169EE09
, 4G169FA02
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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