特許
J-GLOBAL ID:200903041200998190

カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置、これらに使用される触媒、当該触媒を利用した触媒装置及び当該触媒装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-063051
公開番号(公開出願番号):特開2004-267926
出願日: 2003年03月10日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】カーボンナノチューブを化学気相成長法において低温で合成可能な製造方法、製造装置、及び、これらに使用される触媒及び当該触媒の製造方法を提供する。【解決手段】鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素とを含む非晶質薄膜が主面に形成された触媒基板1は、石英管13の外周を覆うように設けられた加熱手段14によって加熱され、薄膜中に触媒として機能する結晶性の金属微粒子を生成される。一方、キャリアガスによって希釈された炭素原料ガスが、ガス排気配管系30から石英管13へ供給され、加熱手段15で加熱分解された後に触媒基板1と接触させられる。これにより、触媒基板1上にカーボンナノチューブが成長する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
化学気相成長法によるカーボンナノチューブの製造に使用される触媒であって、 鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、 周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素と、 を含むことを特徴とする触媒。
IPC (4件):
B01J23/745 ,  B01J23/847 ,  B01J27/24 ,  C01B31/02
FI (4件):
B01J23/74 301M ,  B01J27/24 M ,  C01B31/02 101F ,  B01J23/84 301M
Fターム (26件):
4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069AA11 ,  4G069BB02B ,  4G069BB11B ,  4G069BC51B ,  4G069BC54B ,  4G069BC66B ,  4G069BC67B ,  4G069CB81 ,  4G069EA08 ,  4G069FB02 ,  4G146AA11 ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC03 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146BC48 ,  4G146DA03
引用特許:
審査官引用 (10件)
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引用文献:
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