特許
J-GLOBAL ID:200903041200998190
カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置、これらに使用される触媒、当該触媒を利用した触媒装置及び当該触媒装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-063051
公開番号(公開出願番号):特開2004-267926
出願日: 2003年03月10日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】カーボンナノチューブを化学気相成長法において低温で合成可能な製造方法、製造装置、及び、これらに使用される触媒及び当該触媒の製造方法を提供する。【解決手段】鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素とを含む非晶質薄膜が主面に形成された触媒基板1は、石英管13の外周を覆うように設けられた加熱手段14によって加熱され、薄膜中に触媒として機能する結晶性の金属微粒子を生成される。一方、キャリアガスによって希釈された炭素原料ガスが、ガス排気配管系30から石英管13へ供給され、加熱手段15で加熱分解された後に触媒基板1と接触させられる。これにより、触媒基板1上にカーボンナノチューブが成長する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
化学気相成長法によるカーボンナノチューブの製造に使用される触媒であって、
鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、
周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素と、
を含むことを特徴とする触媒。
IPC (4件):
B01J23/745
, B01J23/847
, B01J27/24
, C01B31/02
FI (4件):
B01J23/74 301M
, B01J27/24 M
, C01B31/02 101F
, B01J23/84 301M
Fターム (26件):
4G069AA03
, 4G069AA08
, 4G069AA11
, 4G069BB02B
, 4G069BB11B
, 4G069BC51B
, 4G069BC54B
, 4G069BC66B
, 4G069BC67B
, 4G069CB81
, 4G069EA08
, 4G069FB02
, 4G146AA11
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC03
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC33B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146BC48
, 4G146DA03
引用特許:
引用文献:
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