特許
J-GLOBAL ID：200903029739625568

薬液供給システム及び薬液供給方法並びに記憶媒体

発明者：
大久保 敬弘

大久保 敬弘 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-151825
公開番号（公開出願番号）：特開2008-305980
出願日： 2007年06月07日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】薬液から微細なパーティクルを除去する。【解決手段】第1のベローズポンプ2Aと第2のベローズポンプ2Bから塗布ユニット9に薬液を交互に連続して供給する。一方のベローズポンプ2A(2B)から薬液を供給している間、他方のベローズポンプ2B(2A)では、薬液室B1への薬液の補給を行い、次いで当該薬液室B1の薬液を循環路81に循環させて、薬液をフィルタ83に繰り返し通過させる。フィルタ83では薬液を繰り返し通過させるうちに、微細なパーティクルがフィルタ83に分子間力で付着していき、徐々に微細なパーティクルが除去される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
薬液室の薬液を加圧体を介して流体の圧力で押圧し、これにより薬液を吐出するための複数の中間ポンプと、基板に対して薬液を供給して液処理を行う液処理ユニットと、を薬液供給路により接続し、この薬液供給路に設けられた供給切り換えバルブにより、前記液処理ユニットに薬液を供給する中間ポンプを選択的に接続して、複数の中間ポンプから交互に前記液処理ユニットに薬液を供給する薬液供給システムにおいて、 前記中間ポンプの薬液室に薬液を補給するために、前記複数の中間ポンプの夫々の薬液室に接続される複数の薬液補給路と、 前記薬液補給路に設けられ、前記薬液補給路に接続される中間ポンプを選択するための薬液補給用バルブと、 前記複数の中間ポンプの薬液室に接続され、この薬液室内に薬液を循環供給させるための循環路と、 この循環路に設けられ、薬液中のパーティクルを除去するための除去手段と、 前記循環路に設けられ、薬液を循環供給させる中間ポンプを選択するための切り換えバルブと、 前記複数の中間ポンプの一の中間ポンプにより液処理ユニットへの薬液の供給を終了した後、当該一の中間ポンプの薬液室に薬液を補給し、次いでこの中間ポンプの薬液室内の薬液を循環路を介して循環させるように、前記供給切り換えバルブと薬液補給用バルブと切り換えバルブとを制御する手段と、を備えたことを特徴とする薬液供給システム。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B05C 11/10
FI (3件)：
H01L21/30 564Z ,  H01L21/30 569Z ,  B05C11/10
Fターム (12件)：
4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB20 ,  4F042CB25 ,  5F046JA01 ,  5F046JA03 ,  5F046LA03 ,  5F046LA14 ,  5F046LA19
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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