特許
J-GLOBAL ID：200903030193691880
3層レジスト中間層用樹脂組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-217771
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149822
出願日： 2002年07月26日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】上層レジスト溶媒としてケトン系、芳香族系などが用いられる場合、上層レジスト塗布時に中間層が溶解したり、上層レジストとの界面にミキシング層が形成されることがなく、経時変化が少なく保存安定性に優れ、クラックのない硬化皮膜を形成可能な3層レジスト中間層用樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子内に2個以上のオキセタン基を有し、重量平均分子量が1、000〜50、000であるポリオルガノシルセスキオキサン樹脂と(B)電磁線または熱により酸を発生する化合物とを含有してなることを特徴とする3層レジスト中間層樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)分子内に2個以上のオキセタン基を有し、重量平均分子量が1、000〜50、000であるポリオルガノシルセスキオキサン樹脂と(B)電磁線または熱により酸を発生する化合物とを含有してなることを特徴とする3層レジスト中間層用樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/11 502
, C08G 77/14
G03F 7/11 502
, C08G 77/14
2H025AA11
, 2H025AA13
, 2H025AA18
, 2H025AB16
, 2H025DA14
, 2H025DA29
, 2H025DA40
, 4J035BA12
, 4J035CA071
, 4J035FB07
, 4J035LA03
, 4J035LB16
