特許
J-GLOBAL ID:200903030511737984

積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-097566
公開番号(公開出願番号):特開2003-294698
出願日: 2002年03月29日
公開日(公表日): 2003年10月15日
要約:
【要約】【課題】 早期測定開始でき、少消費電力であり、高耐熱性であり、容易に小型化できる積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサを提供する。【解決手段】 ヒータ113を有する第1絶縁性基部11と、第2セル部用固体電解質体131、一対の第2セル部用電極132及び133を備える第2セル部13と、内室15と、第1セル部用固体電解質体121、一対の第1セル部用電極122及び123を備える第1セル部12と、通気性を有する多孔質部161を備える第2絶縁性基部16と、をこの順に積層して備え、第1セル部用固体電解質体121は、第2絶縁性基部16の1/2倍以下の厚さであり、且つ、素子の長手方向において第2絶縁性基部16よりも小さい素子を得る。
請求項(抜粋):
絶縁性セラミックスから形成された第1絶縁性基部と、固体電解質からなる第1セル部用固体電解質体及び該第1セル部用固体電解質体の表面に形成された一対の電極である第1セル部用電極を備える第1セル部と、絶縁性セラミックスから形成され、且つ、該第1セル部用電極のうちの一方の電極と被測定雰囲気とが接するように配置された通気性を有する多孔質部を備える第2絶縁性基部と、がこの順に積層されて備えられ、該第1セル部用固体電解質体は、該第2絶縁性基部の1/2倍以下の厚さであり、且つ、長手方向において該第2絶縁性基部よりも小さいことを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
IPC (4件):
G01N 27/419 ,  G01N 27/409 ,  G01N 27/41 ,  G01N 27/416
FI (8件):
G01N 27/46 327 J ,  G01N 27/46 327 C ,  G01N 27/46 327 B ,  G01N 27/46 327 A ,  G01N 27/46 325 D ,  G01N 27/46 325 J ,  G01N 27/58 B ,  G01N 27/46 331
Fターム (7件):
2G004BB04 ,  2G004BC02 ,  2G004BD05 ,  2G004BE10 ,  2G004BE22 ,  2G004BJ02 ,  2G004BM07
引用特許:
出願人引用 (13件)
  • 酸素センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-284006   出願人:株式会社フジクラ, 財団法人地球環境産業技術研究機構
  • 空燃比センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-303666   出願人:株式会社デンソー
  • 特開平2-284053
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審査官引用 (13件)
  • 酸素センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-284006   出願人:株式会社フジクラ, 財団法人地球環境産業技術研究機構
  • 空燃比センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-303666   出願人:株式会社デンソー
  • 特開平2-284053
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