特許

J-GLOBAL ID：200903030823765977

BaLiF3単結晶体

発明者： 真淵 俊朗 ,  本田 博紀 ,  望月 直人 ,  縄田 輝彦 ,  佐藤 浩樹 ,  福田 承生
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-310895
公開番号（公開出願番号）：特開2009-132576
出願日： 2007年11月30日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：

【課題】真空紫外光透過用光学部材、特に液浸式露光装置のラストレンズとして有望な、200nm以下の真空紫外光(VUV)の透過性、及びレーザー光照射による損傷等が少なく、レーザー耐性に優れたBaLiF3単結晶体を提供する。【解決手段】Mg及びKを含有するBaLiF3単結晶体であって、これらの含有比率がモル基準でMg/(Li+Mg)が0.001〜0.02の範囲にあり、K/(Ba+K)が0.001〜0.02の範囲にある。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

Mg及びKを含有するBaLiF3単結晶体であって、これらの含有比率がモル基準でMg/(Li+Mg)が0.001〜0.02の範囲にあり、K/(Ba+K)が0.001〜0.02の範囲にあることを特徴とするBaLiF3単結晶体。

IPC (5件)：

C30B 29/12 ,  C30B 15/04 ,  C30B 33/02 ,  C01F 11/22 ,  G02B 1/02

FI (5件)：

C30B29/12 ,  C30B15/04 ,  C30B33/02 ,  C01F11/22 ,  G02B1/02

Fターム (23件)：

4G076AA05 ,  4G076AA18 ,  4G076AB04 ,  4G076BA13 ,  4G076BA17 ,  4G076BC02 ,  4G076BC08 ,  4G076CA23 ,  4G076CA34 ,  4G076CA40 ,  4G076DA11 ,  4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077BE02 ,  4G077CF10 ,  4G077EB01 ,  4G077EC08 ,  4G077EC10 ,  4G077FE20 ,  4G077HA01 ,  4G077PB01 ,  4G077PB05 ,  4G077PB14

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 液浸式露光装置のラストレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-140667   出願人：株式会社トクヤマ
• フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-031172   出願人：エヌイーシートーキン株式会社
• 多元系フッ化物単結晶およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-317193   出願人：エヌイーシートーキン株式会社

審査官引用 (8件)

• フツ化バリウムリチウム単結晶およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-167117   出願人：東北大学長
• フッ化金属単結晶体製造用引上げ装置および該装置を用いたフッ化金属単結晶体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-367481   出願人：株式会社トクヤマ
• BaLiF3結晶体の熱処理方法。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-141073   出願人：株式会社トクヤマ
• BaLiF3単結晶体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-262268   出願人：株式会社トクヤマ
• BaLiF3単結晶体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-038862   出願人：株式会社トクヤマ
• 防災バケツ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-211882   出願人：黒瀬吉夫
• フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-031172   出願人：エヌイーシートーキン株式会社
• 多元系フッ化物単結晶およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-317193   出願人：エヌイーシートーキン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• "Color center luminescence in pure and Mg-doped LiBaF3 crystals"