プラズマ加速器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：八田幹雄 , 奈良泰男 , 宇谷勝幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-254601
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095678
出願日： 2006年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】駆動コイルの巻き方向を反対にして各コイルを連結することで、コイル間の相互インダクタンスを小さくし、それにより、各コイルへの印加電流等の正確な調節、及び駆動回路の単純化を可能とするプラズマ加速器を提供する。【解決手段】上部が閉鎖され、下部が開放され、側面が外壁により囲まれたチャンバー部300と、複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第1コイル部100と、前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第2コイル部200と、を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

上部が閉鎖され、下部が開放され、側面が外壁により囲まれたチャンバー部と、複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第1コイル部と、前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第2コイル部と、を含むことを特徴とするプラズマ加速器。

IPC (3件)：

H05H 1/54 , H05H 1/46 , H01L 21/306

FI (3件)：

H05H1/54 , H05H1/46 L , H01L21/302 101E

Fターム (2件)：

5F004BA01 , 5F004BB13

引用特許：

出願人引用 (9件)

プラズマ処理方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-035518 出願人：松下電器産業株式会社
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-307273 出願人：国際電気株式会社
磁気中性線放電型プラズマ利用装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-285699 出願人：日本真空技術株式会社

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審査官引用 (5件)

プラズマ加速装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-568665 出願人：ターレスエレクトロンデバイスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
プラズマ加速装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-506766 出願人：ターレスエレクトロンデバイスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
プラズマ加速器
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-541325 出願人：ターレスエレクトロンデバイスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

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