特許
J-GLOBAL ID：200903031338034847

エッチング用組成物及びエッチング方法

発明者：
原 靖

原 靖 について

, 
下野 哲数

下野 哲数 について

, 
高橋 史治

高橋 史治 について


出願人/特許権者：
東ソー株式会社

東ソー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-330109
公開番号（公開出願番号）：特開2009-021538
出願日： 2007年12月21日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：
【課題】リン酸系の窒化ケイ素のエッチング用組成物では、長時間使用すると酸化ケイ素の析出があり、長期間安定に用いられるものがなかった。【解決手段】リン化合物、ホウ素化合物及び/又はそれらのフッ化物を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物では、長時間の使用においても酸化ケイ素の析出がない。さらに可溶性ケイ素化合物を含むものは、酸化ケイ素の析出がなくなおかつ酸化ケイ素に対する窒化ケイ素のエッチング選択比も高い。さらに硝酸及び/又は硝酸塩を添加すると選択性の安定性が高まる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
リン化合物、ホウ素化合物及び/又はそれらの弗化物、及び水を含んでなる窒化ケイ素のエッチング用組成物。
IPC (1件)：
H01L 21/306
FI (1件)：
H01L21/306 E
Fターム (4件)：
5F043AA35 ,  5F043BB23 ,  5F043DD07 ,  5F043EE22
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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