特許
J-GLOBAL ID：200903031641430682
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048585
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233435
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】 吸着面の凹凸加工によらずにウェハ等のワークの脱離不良の問題を解決することのできる静電チャックを提供する。【解決手段】 静電チャック1は、基盤5と、この基盤5上にパターン化されて形成されている一対の電極3、3′と、この電極3を覆う誘電層2を備える。電極3、3′は、中央を境にして、左右に分離されており、それぞれに接点6、6′においてリード線7、7′に接続されている。電極3、3′は、直角に交わる格子状となっており、電極3、3′の面積が該チャックの吸着面の面積の50%以下である。
請求項（抜粋）：
基盤と、基盤上面に広がる電極と、電極を覆う誘電層と、を備えた静電チャックであって;上記電極の面積が該チャックの吸着面の面積の50%以下であることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
