特許
J-GLOBAL ID:200903032578229293
塗布装置及び塗布方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-348216
公開番号(公開出願番号):特開2004-181286
出願日: 2002年11月29日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
【課題】常時均一な混合状態で多量のシール材が連続供給可能で、塗布作業の効率化を大幅に高め、延いてはPDPなどの製造についても高品質化とともに作業効率の大幅向上を図ることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供する。【解決手段】パネルへ塗布すべきフリットガラス(シール材)1を撹拌しつつ定量ずつ送出するタンクユニットAと、タンクユニットAから送り出されたフリットガラス1を、開放するノズル21Aから押出手段24で定量ずつ押出して吐出する塗布ヘッドBと、供給路R1の一部とタンクユニットAとの管を連結するバイパス路R3と、バイパス路R3の一部に設けた切替弁V3と、塗布ヘッドBのノズル21Aからフリットガラス1を吐出しない待機状態のときに、タンクユニットAからのフリットガラス1をバイパス路R3へ送出させずに供給路R1及び塗布ヘッドBを経由してタンクユニットへ戻すためのリターン路R2と、塗布ヘッドBの入口側及び出口側に設けた加圧調整弁V1,V2とを備えた。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シール材を撹拌しつつ定量ずつ送出するタンクユニットと、
前記タンクユニットから送り出された前記シール材を、ノズルから押出手段により定量ずつ押出して吐出する塗布ヘッドと、
前記タンクユニットと前記塗布ヘッドとを連結する供給路と、
前記供給路の一部と前記タンクユニットの補給口との管を連結するとともに切替弁を設けたバイパス路と、
前記塗布ヘッドの循環出口と前記タンクユニットの前記補給口側とを連結するリターン路と、
前記塗布ヘッドに設けた加圧調整弁と
を備えたことを特徴とする塗布装置。
IPC (6件):
B05C11/10
, B05C5/00
, B05D1/26
, B05D3/00
, H01J9/26
, H01J11/02
FI (6件):
B05C11/10
, B05C5/00 101
, B05D1/26 Z
, B05D3/00 B
, H01J9/26 A
, H01J11/02 D
Fターム (36件):
4D075AC06
, 4D075AC95
, 4D075CA13
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DA34
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA05
, 4D075EA39
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AA18
, 4F041BA02
, 4F041BA12
, 4F041BA36
, 4F041BA56
, 4F041BA59
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA29
, 4F042AB00
, 4F042BA06
, 4F042CA01
, 4F042CA06
, 4F042CB02
, 4F042CB08
, 4F042CB20
, 4F042ED03
, 4F042ED05
, 5C012AA09
, 5C012BC04
, 5C040HA01
, 5C040JA31
, 5C040MA23
, 5C040MA26
引用特許:
審査官引用 (8件)
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特開平3-109957
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塗工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-326176
出願人:旭化成工業株式会社
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液供給装置及び液供給方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-331316
出願人:東京エレクトロン株式会社
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