特許
J-GLOBAL ID：200903011174573007

液供給装置及び液供給方法

発明者：
川口 義広

川口 義広 について

, 
下村 雄二

下村 雄二 について

, 
三浦 雄一郎

三浦 雄一郎 について

, 
岩崎 吉彦

岩崎 吉彦 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331316
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141260
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 ノズルから供給される供給圧力にばらつきが発生することのない液供給装置及び液供給方法を提供すること。【解決手段】 基板Gにレジスト液を吐出するノズル46と、レジスト液を液供給源57から一旦供給・貯留してノズル46に液を供給する供給タンク53と、を一体的に第2のスライダ43により基板G上を走査しながら液を吐出させることによって、従来のような供給配管が屈曲して配管内の圧力が変動するという不具合は生じず、常に所望の圧力でレジスト液を供給することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に液を吐出するノズルと、前記ノズルに液を供給する供給タンクと、前記ノズルと前記供給タンクとを一体的に基板上を走査させる駆動部と、を具備することを特徴とする液供給装置。
IPC (8件)：
H01L 21/027 ,  B05B 1/14 ,  B05B 13/04 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  G03F 7/16 502
FI (8件)：
B05B 1/14 Z ,  B05B 13/04 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 B ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 Z
Fターム (48件)：
2H025AB20 ,  2H025EA05 ,  4D075AC08 ,  4D075AC09 ,  4D075AC73 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC95 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA45 ,  4F033AA01 ,  4F033BA03 ,  4F033CA04 ,  4F033DA05 ,  4F033EA01 ,  4F033GA00 ,  4F035AA04 ,  4F035CA01 ,  4F035CA05 ,  4F035CC01 ,  4F035CD05 ,  4F035CD11 ,  4F035CD16 ,  4F035CD18 ,  4F035CD19 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA04 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA32 ,  4F041BA35 ,  4F042AA02 ,  4F042AA10 ,  4F042BA06 ,  4F042BA12 ,  4F042CA01 ,  4F042CA07 ,  4F042CA09 ,  4F042CB03 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10 ,  4F042CB11 ,  5F046JA03 ,  5F046JA27
引用特許：
審査官引用 (15件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM