特許
J-GLOBAL ID：200903032985467417
表面倣い測定装置および倣いプローブの補正テーブル作成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-292970
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181293
出願日： 2004年10月05日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 被測定物形状を高精度に測定できる表面倣い測定装置を提供する【解決手段】測定システムは、倣いプローブを駆動させる三次元測定機と、ホストコンピュータと、を備える。ホストコンピュータは、補正テーブル53と、形状解析部54と、を備える。補正テーブル53は、補正データとして、プローブカウンタ415のカウンタ値を補正するための補正係数と、接触部の中心座標値に対する被測定物表面までの補正半径rと、を接触方向ごとに格納している。形状解析部54は、接触方向算出部542と、補正データ選択部543と、補正演算部544と、を備える。接触方向算出部542で倣いプローブと被測定物Wとの接触方向が算出され、補正データ選択部543は、この接触方向に基づいて、補正テーブル53に設定された補正データを選択する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被測定物表面に近接あるいは当接される測定子、および、前記測定子と被測定物表面との相対位置を検出する検出センサを有し、前記測定子と前記被測定物表面との相対位置を予め設定された基準位置範囲に保って倣い走査する倣いプローブと、
前記倣いプローブを被測定物表面に沿って相対移動させる移動手段と、
前記移動手段の駆動量を検出する駆動センサと、
前記検出センサおよび駆動センサによる検出値に基づいて前記被測定物の形状を解析する解析手段と、を具備し、
前記解析手段は、
前記倣いプローブで前記被測定物表面を倣い走査する際に前記測定子で前記被測定物表面を測定する方向ごとに前記検出センサによる検出値を補正する補正データが格納された補正テーブルを備える
ことを特徴とする表面倣い測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2F069AA04
, 2F069AA66
, 2F069EE07
, 2F069EE09
, 2F069EE23
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069HH11
, 2F069JJ08
, 2F069LL02
, 2F069MM26
, 2F069MM32
, 2F069NN00
, 2F069NN17
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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