特許
J-GLOBAL ID:200903034044830733

塗布装置及び塗布方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-138839
公開番号(公開出願番号):特開2005-319385
出願日: 2004年05月07日
公開日(公表日): 2005年11月17日
要約:
【課題】設置に多額の費用を要せず、設計上及びレイアウト上の制約が少なく、膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。【解決手段】塗布液供給手段18より塗布液を供給しながら、塗布液供給手段と所定の間隔を隔てた位置で連続的に搬送される帯状支持体16に所定膜厚の塗布膜28を形成する塗布手段10を備える塗布装置。塗布手段10を防爆仕様の能動除振装置32、32...上に固定する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
塗布液供給手段より塗布液を供給しながら、該塗布液供給手段と所定の間隔を隔てた位置で連続的に搬送される帯状支持体に所定膜厚の塗布膜を形成する塗布手段を備える塗布装置において、 前記塗布手段が能動除振装置上に固定されていることを特徴とする塗布装置。
IPC (4件):
B05C9/08 ,  B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  F16F15/02
FI (4件):
B05C9/08 ,  B05C5/02 ,  B05D1/26 Z ,  F16F15/02 A
Fターム (34件):
3J048AA06 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AB12 ,  3J048AD03 ,  3J048BE02 ,  3J048CB21 ,  3J048EA07 ,  4D075AC05 ,  4D075AC72 ,  4D075AC80 ,  4D075AC86 ,  4D075AC91 ,  4D075CA48 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB18 ,  4D075DB33 ,  4D075DB36 ,  4D075DB38 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DC24 ,  4D075DC27 ,  4D075DC28 ,  4D075EA07 ,  4F041AA12 ,  4F041AB01 ,  4F041CA02 ,  4F042AA22 ,  4F042AB00 ,  4F042BA27
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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