特許
J-GLOBAL ID：200903035233257471
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318559
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147772
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 PEDによりレジストパターンが線幅の変化を生じたりT型形状になったりすることがなく、かつ現像欠陥を生じることのなく、しかも遠紫外線、荷電粒子線、X線の如き各種の放射線に対して、高感度で解像度性能に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)p-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル酸t-ブチルおよび/または(メタ)アクリル酸1,1-ジメチル-3-オキソブチルとの共重合体、p-ヒドロキシスチレンとp-t-ブトキシスチレンおよび/またはp-アセトキシスチレンとの共重合体等で代表される樹脂、並びに(B)ベンゼン核に有機置換基を有するか、あるいはベンゼン核の構成炭素原子と共に形成した環構造を有するジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート誘導体からなる感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位(1)と下記式(2)で表される繰返し単位(2)および/または下記式(3)で表される繰返し単位(3)とを有する樹脂、および(B)下記式(4)で表される感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を示し、R3 は炭素数4〜10の3級アルキル基または1,1-ジメチル-3-オキソブチル基を示す。〕【化3】〔式(3)において、R4 は水素原子またはメチル基を示し、R5 はt-ブチル基またはアセチル基を示す。〕【化4】〔式(4)において、R6 〜R11は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の1価の有機基を示すか、あるいはR6 〜R8 のうちの二つが互いに結合して式(3)中のベンゼン核を構成する炭素原子と共に3〜8員環の環構造を形成して、R6 〜R8 のうちの残りの一つが水素原子または炭素数1〜6の1価の有機基を示すか、あるいはR9 〜R11のうちの二つが互いに結合して式(3)中のベンゼン核を構成する炭素原子と共に3〜8員環の環構造を形成して、R9 〜R11のうちの残りの一つが水素原子または炭素数1〜6の1価の有機基を示し、かつR6〜R11のうちの少なくとも一つが水素原子以外の基である。〕
IPC (3件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 Z
, H01L 21/30 502 R
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA11
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB17
, 2H025CB41
, 2H025FA12
