特許
J-GLOBAL ID：200903035302991425
静電チャックの洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-351201
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189699
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】吸着面の研削、研磨時における洗浄不足や各種処理装置の処理室に配置されている真空ポンプ等からのオイルバックにより、吸着面に付着する油脂類や炭化膜などの付着物を除去し、安定した吸着力が常に得られるようにする。【解決手段】酸素の存在する雰囲気において、静電チャックの吸着面と対向して低圧水銀ランプやエキシマランプ等の紫外線ランプを配置し、この紫外線ランプを点灯させて紫外線を照射することにより、静電チャックの吸着面に付着する油脂類や油等の加熱に伴う炭化膜を除去する。
請求項（抜粋）：
酸素の存在する雰囲気において、被吸着物を静電的に吸着保持する静電チャックの吸着面に紫外線を照射して上記吸着面に付着する付着物を除去するようにしたことを特徴とする静電チャックの洗浄方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
H01L 21/68 R
, H01L 21/304 341 Z
, H01L 21/304 341 D
