特許
J-GLOBAL ID：200903035695932859
反応器、マイクロリアクタチップ、及びマイクロリアクタシステム、並びに反応器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-312290
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234791
出願日： 2005年10月27日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 水晶振動子に残留応力や不要な振動モードが発生せず、高感度が維持できる反応器およびマイクロリアクタチップ、マイクロリアクタシステムを提供する。【解決手段】 ATカット水晶ウェハ100両面に金を蒸着もしくはスパッタして、検出電極601、対向電極602および各電極への配線を作成し、洗浄したシリコンウェハ上にレジストを形成し、ポリジメチルシロキサン(PDMS)をその上に流して硬化させ、PDMSとシリコンウェハとを剥離させ、PDMSに溝(反応槽)500を形成する。水晶ウェハとPDMSとを重ね合わせた後、水晶基板側から紫外線を照射すると、水晶とPDMSのケイ素と炭素のボンドが切れ、水晶とPDMSとがシロキサン結合により接合し、液導入口および液排出口を切断して形成し、反応器を製造する。この反応器の構造を応用してマイクロリアクタチップ及びマイクロリアクタシステムを構成した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定試料を流す流路と、該流路に接続され、前記被測定試料に含有する特定物質を捕獲する捕獲手段を有する反応槽と、前記捕獲手段により捕獲した前記被測定試料に含有する特定物質の物理量を測定する液相センサとからなる反応器において、
前記反応槽は、凹部を有し珪素含有物と化学結合する材質からなる基板と、該凹部を覆い前記基板と前記化学結合により接合する水晶基板とからなり、
前記液相センサは、前記水晶基板面上に設けられ、前記捕獲手段が形成された電極とからなる水晶振動子と、該電極に接続され前記水晶振動子の周波数変化を測定する周波数測定手段とからなることを特徴とする反応器。
IPC (4件)：
G01N 5/02
, G01N 35/08
, G01N 37/00
, B01J 19/00
G01N5/02 A
, G01N35/08 A
, G01N37/00 101
, B01J19/00 321
2G058DA07
, 2G058EC07
, 2G058GA20
, 4G075AA39
, 4G075AA65
, 4G075BA10
, 4G075BD05
, 4G075BD15
, 4G075DA02
, 4G075EB01
, 4G075EC21
, 4G075EC30
, 4G075EE12
, 4G075FA05
, 4G075FB06
, 4G075FB12
出願人引用 (3件)
審査官引用 (16件)
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